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六氟乙烷,化学式为 C₂F₆,是无色无味、不可燃的气体。它化学性质稳定,沸点低至 - 78.2℃ 。主要用于半导体制造的蚀刻工艺,也可用作制冷剂和绝缘气体。不过,它是强效温室气体,对全球变暖的影响远高于二氧化碳,使用时需严格控制排放。储存运输要用高压钢瓶,置于阴凉通风处。

 

化学式

C2F6

中文名称

六氟乙烷

英文名称

Hexafluoroethane

CAS No.

76-16-4

分子量

138.000

比重(Air=1)

4.700

充装系数

1.06kg/L (气瓶公称工作压力12.5MPa时)

应用

用作绝缘气、等离子蚀刻剂,高介电强度冷却剂

产品规格

≥99.99%

 

 

 

 
 
 
 

 

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