三氟化氮，化学式为NF₃，是一种无机化合物，分子结构与氨类似，氮原子居于四面体中心，纯净状态下通常为无色无味气体，低温时为不透明固体，稳定性良好，常温下不与水，有稀酸或稀碱的作用，
其用途广泛，可用作半导体制造工艺中的蚀刻气体、高能燃料和火箭推进剂中的氧化剂、氟化剂及制备其它氮的氟化物的原料。制备方法有熔盐电解法、直接氟化氨化钠或氨气、辉光放电法使氮气和氨气直接作用等。