二氯二氢硅 SiH₂Cl₂，又称二氯硅烷，是一种无色、具刺激性气味的发烟液体，常温下易挥发，遇水剧烈反应，常温常压下是具有刺激性窒息气味的无色有毒腐蚀性气体。主要用作电子气，应用于外延、化学气相淀积等领域，可通过硅烷或一氯硅烷与氯化氢在三氯化铝存在下反应，或高温下硅与氢及氯化氢反应后精馏提纯制得。