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四氟化碳,又名四氟甲烷,化学式为CF4,它既可以被视为一种卤代烃(有机物),也可以被视为一种无机化合物,常温常压下为无色气体,不溶于水,溶于苯和氯仿,主要用于各种集成电路的等离子刻蚀工艺,也用作激光气体、低温制冷剂、溶剂、润滑剂、绝缘材料、红外检波管的冷却剂。

 

化学式

CF4

中文名称

四氟化碳

英文名称

Tetrafluoromethane

CAS No.

75-73-0

分子量

88.005

比重 (Air = 6)

3

充装量

 

应用

制冷、气体绝缘、干蚀刻气、氟化剂、表面处理剂、激光气体泄漏检验剂。

产品规格

≥99.99%

 

 

 

 
 
 
 

 

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