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硅烷(化学式为SiH₄),又称甲硅烷,是一种无色、有大蒜气味的有毒气体,在常温常压下极不稳定。其密度比空气略大,沸点 - 111.9℃,易燃性极强,在空气中能自燃,燃烧时产生明亮火焰,生成二氧化硅和水。硅烷化学性质活泼,遇水、强氧化剂会发生剧烈反应。在工业领域,硅烷是半导体制造中不可或缺的原材料。

 

化学式

SiH4

中文名称

硅烷

英文名称

Silane

CAS No.

7803-62-5

分子量

32.118

比重(Air=1)

1.114

充装系数

0.3kg/L (气瓶公称工作压力15MPa时)

应用

氯硅烷类及烷基氯硅烷类的骨架结构,硅的外延生长、多晶硅、氧化硅、氮化硅等的原料,太阳能电池,光导纤维,有色玻璃制造,化学气相淀积

纯度

≥99.9999%

 

 

 
 
 
 

 

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