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四氟化硅:特殊性质的无机化合物​
四氟化硅的化学式为 SiF₄,常温常压下是无色、有刺激性气味的气体,在潮湿空气中会形成白色烟雾,这是因为它特别易与空气中的水蒸气发生水解反应。其熔点为 - 90.2℃,沸点为 - 65℃,密度明显大于空气。​
四氟化硅的化学性质较为活泼,除了容易水解外,还能与碱溶液发生反应,生成硅酸盐和氟化物。在工业上,它主要作为副产物产生于磷肥生产等过程中,也可通过二氧化硅与氢氟酸反应制得。在建筑材料领域,四氟化硅可用于生产某些特种玻璃,改善玻璃的性能,如增强玻璃的硬度、化学稳定性等。在微电子工业中,它可作为刻蚀剂,用于半导体芯片制造过程中的精细加工,通过准确控制刻蚀工艺,在硅片表面形成特定的电路图案,对芯片制造起着关键作用。但四氟化硅有毒,对人体呼吸道、眼睛等有刺激和损害作用,在生产、储存和使用过程中,需严格做好防护和废气处理工作,防止其泄漏到环境中,保障人员安全和环境质量 。​

 
 
 
 
 

 

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