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三氯化硼：特性与生产工艺​
三氯化硼（BCl₃）是无色发烟液体，沸点 12.5℃，常温下易挥发为气体，核心特性是 “强路易斯酸 + 易水解”，能与胺类、醚类形成络合物，遇水剧烈反应生成硼酸与盐酸（BCl₃ + 3H₂O → H₃BO₃ + 3HCl↑），工业生产以 “氯化法” 为主，适配电子级高纯度需求。​
工业生产采用硼砂（Na₂B₄O₇・10H₂O）与氯气、焦炭反应，在高温炉中进行，反应原理：Na₂B₄O₇ + 4C + 6Cl₂ → 4BCl₃↑ + 2NaCl + 4CO↑。工艺控制关键：原料配比严格（硼砂：焦炭：氯气 = 1:2:3.5，摩尔比），反应温度控制在 800-900℃，确保反应完全；生成的粗 BCl₃气体经冷凝（降至 0℃以下，液化）、精馏（采用玻璃或石英精馏塔，塔板数 30-40 块），去除 NaCl、CO 等杂质，纯度可达 99.9% 以上。电子级三氯化硼（纯度≥99.999%）需进一步纯化，采用吸附法（分子筛去除水分，活性炭去除有机物）、低温精馏（温度 - 20 至 - 10℃），控制金属离子含量≤0.1ppb，非金属杂质（如 SiCl₄、PCl₃）含量≤1ppb。生产设备需耐腐蚀，反应炉用石墨材质，管道用聚四氟乙烯或石英管，某电子化学品企业生产的电子级 BCl₃，纯度稳定在 99.9995%，满足半导体离子注入工艺需求。

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