新闻中心/News Center

专业气体服务商

三氟化磷：特性与生产工艺​
三氟化磷（PF₃）是无色剧毒气体，沸点 - 101.8℃，常温下稳定，核心特性是 “强配位性 + 还原性”，能与金属离子形成稳定络合物，工业生产以 “氟化法” 为主，需严格控制氟化物杂质。​
工业生产采用白磷（P₄）与氟气（F₂）直接反应，在镍制反应釜中进行，反应原理：P₄ + 6F₂ → 4PF₃。工艺关键：原料纯化（白磷纯度≥99.9%，去除硫、砷杂质；氟气纯度≥99.5%，去除 HF 杂质），防止生成 PF₅、AsF₃等杂质；反应温度控制在 - 50 至 - 30℃，避免局部过热导致 P₄燃烧（白磷燃点 40℃），通过缓慢通入 F₂（流量控制 10-20L/h），确保反应平稳；生成的粗 PF₃气体经冷却（降至 - 120℃以下，液化）、精馏（采用镍制精馏塔，塔板数 20-30 块），去除 PF₅、F₂等杂质，纯度可达 99.9% 以上。电子级三氟化磷（纯度≥99.999%）需进一步纯化，采用低温吸附法（用分子筛在 - 80℃吸附杂质），控制金属离子含量≤0.1ppb，非金属杂质（如 HF、PF₅）含量≤1ppb。生产设备需耐氟腐蚀，反应釜、管道用镍合金（如哈氏合金 C276），某电子化学品企业生产的电子级 PF₃，纯度稳定在 99.9995%，满足半导体刻蚀工艺需求。

网站导航：

首页

关于我们

荣誉资质

产品中心

新闻动态

联系方式