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三氟化磷（PF₃）：电子工业与有机合成的剧毒试剂​

三氟化磷是无色剧毒气体，熔点 - 151.3℃，沸点 - 101.2℃，相对密度 3.17（空气 = 1），纯度可达 99% 以上，临界温度 - 2.0℃，临界压力 4.3MPa，溶于乙醇、乙醚，遇水缓慢水解生成亚磷酸和氟化氢，水解速率随温度升高而加快。在电子工业中，三氟化磷是核心的磷离子注入剂，用于半导体掺杂工艺，通过准确控制磷原子的注入深度和浓度，调节半导体器件的导电性能，广泛应用于集成电路、功率器件制造；在有机合成中用作氟化剂，参与含氟化合物（如氟代烃、含氟药物）的制备，还用于制备其他磷氟化合物，以及金属表面的氟化处理。​
三氟化磷的危险特性显著，毒性远高于氟化氢，小鼠吸入 1900mg/m³ 仅能耐受 10 分钟，人体吸入少量即可引发头痛、恶心、呼吸困难，高浓度吸入会导致肺水肿、呼吸衰竭。其化学性质活泼，与二氟化氧接触会发生剧烈爆炸，遇硼烷、氟、氯等强氧化剂反应剧烈，与金属钠、钾等活泼金属在加热条件下生成磷化物。操作一定要在密闭系统中进行，配备负压通风橱和有毒气体检测仪（报警限值 0.1ppm），操作人员需佩戴自给正压式呼吸器、防毒服和防腐蚀手套。储存使用钢瓶或汞封容器，置于阴凉干燥的防爆库房，远离氧化剂、水源和有机物；运输需符合剧毒化学品运输要求，配备押运人员。泄漏时需迅速撤离至上风处，隔离污染区，用排风机将气体导入水洗塔（加碱中和）处理，急救需遵循 “冲洗 - 隔离 - 就医” 原则，皮肤接触后立即用大量清水冲洗，吸入中毒者需给予吸氧并及时送医。​

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