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五氟化磷（PF₅）：电子气体与催化领域的重要试剂

五氟化磷是无色剧毒气体，熔点 - 93.8℃，沸点 - 84.6℃，相对密度 3.6（空气 = 1），临界温度 144.5℃，临界压力 3.3MPa，具有强氧化性和腐蚀性，遇水迅速水解生成氟化氢和磷酸，释放大量热量，与乙醇、乙醚等有机溶剂部分互溶。在电子工业中，高纯度五氟化磷（纯度≥99.999%）是关键的磷离子注入剂，用于半导体掺杂工艺，通过准确控制磷原子的注入深度和浓度，调节半导体器件的导电性能，广泛应用于集成电路、功率器件、太阳能电池等制造；在有机合成中用作氟化剂和催化剂，助力含氟精细化学品（如氟代芳烃、含氟药物）的制备，还用于制备其他磷氟化合物，以及金属表面的氟化处理，提升材料耐腐蚀性。
五氟化磷的危险特性显著，被列为剧毒化学品，高浓度吸入会严重损伤呼吸道和肺部组织，引发咳嗽、呼吸困难、肺水肿，甚至呼吸衰竭；皮肤接触水解产物会造成化学灼伤，眼睛接触可能导致角膜损伤。其化学性质活泼，与易燃物、还原剂（如氢气、一氧化碳）接触可能引发燃烧爆炸，与碱类物质反应剧烈。操作需在密闭自动化系统中进行，配备负压通风橱和有毒气体检测仪（报警限值 0.1ppm），操作人员需佩戴自给式呼吸器、防腐蚀手套和防护眼镜。储存使用耐腐钢瓶（涂灰色标识），置于阴凉干燥处，远离火源、有机物和水源，运输需符合剧毒化学品运输要求，配备押运人员。泄漏时需切断气源，用喷雾水稀释驱散，应急处理人员需在上风向作业并做好全方面防护，少量泄漏可用惰性吸附剂吸收，大量泄漏需构筑围堤收容并中和处理。

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